碳载纯化装置
原料气（普氮）中含有的氧气（O₂）与过量的碳精（C）在高温条件下反应，生成CO2，再经脱去CO2后，得到产品气（高纯氮气）。化学反应式： C+O2 = CO2 。(碳载纯化工艺流程图)

加氢纯化装置
原料气(普氮) 与少量氢（H₂）混合后，进入装有钯催化剂的反应器中，原料气中含的氧气（O2）与氢气（H2）反应生成水蒸气（H2O），经过水分离器、及吸附式干燥器除水后，得到产品气（高纯氮气）。化学反应式:　2H2+O2 = 2H2O+热。（加氢纯化工艺流程图）

加氢纯化适用于对氢气（H₂）含量不敏感（一般约500ppm）的高纯氮气（N2）应用场合，但现场须有安全且可靠的氢气来源。